2、溶剂吸收法
以液体溶剂作为吸收剂，使废气中的有害成分被液体吸收，从而达到净化的目的，其吸收过程是根据有机物相似相溶原理，常采用沸点较高、蒸气压较低的柴油、煤油作为溶剂，使 VOC 从气相转移到液相中，然后对吸收液进行解吸处理，回收其中的 VOC，同时使溶剂得以再生。该法不仅能消除气态污染物，还能回收一些有用的物质，可用来气体流量一般为 3000～15 000 m3/h、浓度为 0.05%～0.5%（体积分数）的VOC，去除率可达到 95%～98%。维护与检修相结合是贯彻"预防为主"原则,保证喷雾废气处理设备安全、经济运行的重要措施。
3、热破坏法
废气处理的方法热破坏法分为直接燃烧法、催化燃烧法和浓缩燃烧法。其破坏机理是氧化、热裂解和热分解，从而达到治理VOCs的目的。热破坏法适合小风量，高浓度的气体处理，对于连续排放气体的场合,使用设备简单，投资少，操作方便，占地面积少，另外可以回收利用热能，气体净化。由于热破坏法是催化燃烧，所以要求的起燃温度低，大部分有机物和 CO 在 200～400 ℃即可完成反应，故辅助燃料消耗少，而且大量地减少了氮化物的产生，适用于较多场合。此外在废气处理设备的设计、制造、选购时应考虑其维护和检修的特性。但热破坏法有燃烧危险，热力燃烧需消耗燃料，不能回收溶剂。
目前,处理VOCs的方法主要分为破坏法和非破坏法。破坏法包括燃烧法和催化氧化,将VOCs转化为CO2和H2O;非破坏法主要有冷凝、吸收、吸附和膜分离。
碳吸附和冷凝法早已工业化。碳吸附法使用范围很广,对醋酸乙酯等VOCs的回收非常有效;冷凝法主要用于回收高沸点和高浓度的VOCs;膜分离技术以其节能、环保和分子级过滤等特性,已广泛地应用于水处理化工、电子、食品加工等领域,成为本世纪分离技术中重要技术之一。废气处理设备净化效率高：对各种浓度的酸性（或碱性）、有机废气净化效率均可达85%~98%。