探针是三坐标测量机的一部分，主要用来触测工件表面，使得测头的机械装置移位，产生信号触发并采集一个测量数据。一般的探针都是由一个杆和红宝石球组成。
上海三坐标测量机的探针有几个主要术语：
1：有效工作长度 (EWL)
2：杆直径
3：总长（指的是从探针后固定面到测尖中心的长度）
4：测针直径
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方法
三坐标检测的方法，基于不同的计算机测量软件。但所有软件对于测量要素的定义应该是一致的。根据工件的检测要求有所不同。
三坐标检测计算机界面
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1、工件的表面处理。有些工件在装夹前要进行表面处理，除去影响测量精度的因素。
2、装夹。起到好的固定作用。
3、建立坐标系。
4、编程（简单检测或非批量检测，可忽略）。
5、检测。
三坐标测量机的保养方法有哪些？
为保证光栅尺传感器运用的牢靠性，可每隔一定时间用乙醇混合液（各50%）清洗擦拭光栅尺面及指示光栅面，坚持玻璃光栅尺面清洁。光栅尺传感器严禁猛烈震动及摔打，以免毁坏光栅尺如光栅尺断裂，光栅尺传感器即失效了。
在日常的保养中，光栅尺传感器与数显表插头座插拔时应关闭电源后停止。尽可能外加维护罩，及时清洗溅落在尺上的切削和油液，严厉避免任何异物进入壳体内部。8：同步带每季度检查同步带，如同步带有磨损、断裂现象，则需予以更换。定期检查各衔接螺丝能否松动。为延长防尘密封条的寿命，可在密封条上平均涂上一薄层硅油，留意勿溅落在玻璃光栅刻划面上。