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汕头爱德华磁悬浮涡轮泵故障信赖推荐「多图」战魂铭人合成

   日期:2023-09-15     作者:潽拓光电    浏览:41    评论:0    
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潽拓——{精},分子泵

广州潽拓,EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养

主要特性和优势

占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一,EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧,增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和 安装成本,如果需要也可远程使用。

受zhuanli保护的独特泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。

超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑,这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂,并且不存在 任何其他的潜在污染源。

非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10),通常 每 5 年维修一次,zui大程度地延长了泵的 使用寿命。

运转时的噪声低至 56 dB(A),可在洁净室内实现低噪声。

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