潽拓——{精},分子泵
广州潽拓,EPX180L 半导体干式真空泵 EPX180L维修保养
主要特性和优势
占地面积小且重量轻 - 作为可用的 工具上泵之一,EPX 显著节省了 占地面积。铝制构造使其重量轻巧,增加了安装 选项。EPX 可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和 安装成本,如果需要也可远程使用。
受zhuanli保护的独特泵机构 - EPX 可以从大气压抽空到 UHV 级基准压力并可在所有入口压力下连续运转。
超清洁机构 - 传统的高真空轴承使用油脂润滑,这可能成为制程 工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承油脂,并且不存在 任何其他的潜在污染源。
非常可靠 - EPX 具有大约 13 年的 MTBFp (SEMI E10),通常 每 5 年维修一次,zui大程度地延长了泵的 使用寿命。
运转时的噪声低至 56 dB(A),可在洁净室内实现低噪声。
潽拓——爱德华磁悬浮涡轮泵故障,分子泵
爱德华 Edwardsext200/200/30 Agilent 80c真空分子泵,二手分子泵维修
dwards EXT200/200/30 Turbo Pump 对应AgilentCode: 8756-10-100,Edwards EXT200/200/30 具备三个抽气口,分别对应200L/s, 200L/s及30L/s
一台真空分子泵可以为安捷伦质谱仪提供三个高真空
潽拓——爱德华磁悬浮涡轮泵故障,分子泵
广州潽拓维修爱德华二手分子泵 Edwards EXT 255HI
Edwards EXT255H英国爱德华分子泵维修,Edwards EXT255H爱德华涡轮分子泵进气法兰口DN100IS/100CF,出气法兰口DN25,抽速可达到195l/s,转速为60000 rpm,极限压力》5X10-9Pa广州潽拓光电科技有限公司提供爱德华Edwards Ext255hi二手分子泵维修保养,
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