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真空计工作原理、工作特性及使用热偶真空计是利用热电偶的电势与加热元件的温度有关,元件的温度又与气体的热传导有关的原理来测量真空度的真空计。一、热偶真空计工作原理热电偶真空计的构造如图1所示,气体分子承担的热传导量与压强成正比是热电偶真空计的工作原理。
热电偶真空计的构造图金属圆筒内部设有一根灯丝,两端连接电极,通电后灯丝会发热。灯丝的热量会通过气体分子碰撞灯丝、热辐射和固体热传导等方式被夺走。设单位时间内以上述三种方式夺走的热量分别为Qg、Qr、Qs,则平衡状态下以下公式成立:式中Q———单位时间灯丝放出的热量;R———灯丝的电阻;I———灯丝的电流。
气体的平均自由程比灯丝的直径大很多时,Qg通过自由分子的热传导被表示为式中α———适当常数;Λ———分子的热传导率;d———灯丝直径;a———灯丝长度;T———灯丝温度;T0———金属圆筒的温度;p———气体压强。Qs和Qr可以分别表示为式(4-8)代表电极的热传导,其中S是灯丝的断面积,κ是固体的热传导率,L是电极的长度。式(4-9)代表热辐射,σ和ε分别是玻尔兹曼常数和固体辐射率。如果保持T和T0一定,则式(4-8)和式(4-9)为常数。
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静电力平衡式微电容测量法适用于静电力平衡式inficon电容薄膜真空计,电路为闭环结构,包括微电容测量电路和静电力控制回路,其中静电力控制回路用来产生平衡感压薄膜的静电力,对系统的测量性能有着至关重要的影响,该方法在保证真空计高准确度测量的同时还能拓宽其动态测量范围。
inficon电容薄膜真空计用于真空测量,要求在较宽的压力测量范围内能测得较小的压力变化量,同时需要满足深空探测、临近空间探测以及空气动力学实验等活动中测量仪器小型化的要求,所以测量电路应该在满足测量要求的前提下尽可能实现集成化、小型化、功耗低。因此,针对不同电极结构的inficon电容薄膜真空计微电容测量电路应朝着易于集成、小型化的方向发展。
由于基于开关电容法的微电容测量电路易于集成,而静电平衡结构的微电容测量法有拓宽动态测量范围的优势,因此基于两者结合的微电容测量电路有望实现对inficon电容薄膜真空计整体测量性能的提升。另外,随着人工智能以及物联网的发展,inficon电容薄膜真空计的应用范围已经从航空航天等领域向大众化领域拓展,这使得其需求量变大,种类更多,考虑到市场的研发时间成本,研发和设计能满足不同类型的inficon电容薄膜真空计的电路是接下来inficon电容薄膜真空计微小电容测量电路的主要发展方向。
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inficon真空计(表)在市场有很多家地下作坊,他们没有检测设备,不懂压缩球容积跟测量毛细管之间的匹配关系,只是一味的照葫芦画瓢,数据和真实值相差甚远,由于很多用户本来就不知道真空测量的理论,以为只要是inficon真空计测量出来的数据就是对了,
殊不知与真实的数据相差很大,大部分测量的数据都是偏小的,因为他们只知道把压缩球泡缩小就能省点,能省下很多的钱,在网上可以说98%的inficon真空表都是假货或者称产品,不信的客户可以请他们送上海市计量测试研究院进行检测。
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