促进剂的作用是调整显影液中氢离子的浓度,从而控制显影剂的电离浓度。然后,以密度值(D)为纵坐标,以曝光量的对数值(1ogH)为横坐标,绘制成的曲线。显影过程中,溶液中释放出的氢离子,如果不加以控制,那么会使溶液中氢离子浓度继续增大,使得PH值明显降低,显影剂的电离速度就会明显减慢,从而严重影响了显影速度。碱的促进作用就在于它与氢离子不断中和而生成水,从而使显影液中的显影离子保持稳定的浓度,使显影进行得正常。
显影适用性
A、走版均匀,波动小:
B。审液少(显影液/水洗、水洗/保护胶、保护胶/烘干段) ;
C、版材正反面不易产生划伤(导轨弧度及材质问题) ;
D、是否在版面留下脏物(辊子大小及硬度) ;
E、显影的均匀性;
F、保护胶均匀性;
G、显影不同厚度的版子,是否在显影上存在区别;
H、是否易卡版;
1、循环水的再利用系统
测试步骤
用初始Recipe生产测试版,并量测CD做数据分析。碱的促进作用就在于它与氢离子不断中和而生成水,从而使显影液中的显影离子保持稳定的浓度,使显影进行得正常。根据数据分析结果中Radio误差数据,调整显影工艺段Recipe,通过显影补偿手段使得Radio误差数据优。通过调整曝光机Bias,显影时间和蚀刻时间等参数使得CD Mean指标达标。使用优化后的Recipe生产测试版,重复CD Uniformity测试,检验现有工艺条件下该指标的性能。
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