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纯水指的是不含杂质的H2O。从学术角度讲，纯水又名高纯水，是指化学纯度极高的水，其主要应用在生物、 化学化工、冶金、宇航、电力等领域，但其对水质纯度要求相当高，所以一般应用普遍的还是电子工业。例如电力系统所用的纯水，要求各杂质含量低达到“微克/升”级。

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在纯水的制作中，水质标准所规定的各项指标应该根据电子(微电子)元器件(或材料)的生产工艺而定(如普遍认为造成电路性能破坏的颗粒物质的尺寸为其线宽的1/5-1/10)，但由于微电子技术的复杂性和影响产品质量的因素繁多，至今尚无一份由工艺试验得到的适用于某种电路生产的完整的水质标准。随着电子级水标准的不断修订，而且高纯水分析领域的许多突破和发展，新的仪器和新分析方法的不断应用都为制纯水工艺的发展创造了条件。

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纯净水处理过程包括：过滤过滤是指让水流过过滤器或过滤膜，过滤器或过滤膜上面的小孔只允许极i小的颗粒通过，通常是指小于1微米的颗粒，大于1微米的污染物（包括许多微生物和无机固体）则无法通过。蒸馏蒸馏是指对水进行蒸发处理。由于矿物质无法蒸发，蒸汽冷凝后所得到的水就是已去除矿物质的水。逆向渗透通过压力使水流经半透膜，水中的矿物质或其他污染物无法通过膜上的小孔。有关更深入的信息，请参见反渗透是怎么回事。